原子熒光剖析法是以原子在輻射能激發下發射的熒光強度進行定量剖析的發射光譜剖析法。但所用儀器與原子吸收光譜法相近。原子熒光光譜剖析法具有很高的靈敏度，校正曲線的線性規模寬，能進行多元素一起測定。原子熒光光譜是介于原子發射光譜和原子吸收光譜之間的光譜剖析技術。

其基本原理是經過測量待測元素的原子蒸氣在必定波長的輻射能激發下發射的熒光強度而進行定量剖析。原子熒光的波長在紫外、可見光區。氣態自由原子吸收特征波長的輻射后，原子的外層電子從基態或低能態躍遷到高能態，約經10-8秒，又躍遷至基態或低能態，一起發射出熒光。若原子熒光的波長與吸收線波長相同，稱為共振熒光；若不同，則稱為非共振熒光。共振熒光強度大，剖析中使用較多。在必定條件下，共振熒光強度與樣品中某元素濃度成正比，然后經過測驗共振熒光的強度來確定待測元素的含量。